アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 63-116478
出願年月日 1988/05
公開番号 01-286999
特許出願人 11理化学研究所;13新日本製鉄 (株)
発明者 難波 進;森谷 明弘;青柳 克信;飯村 靖文;永田 公
特許名 砒化ガリウムエピタキシヤル成長方法