アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 63-13984
出願年月日 1988/01
公開番号 01-189899
特許番号 2136750
特許出願人 11理化学研究所
発明者 浜垣 学;原 民夫;青柳 克信;難波 進
特許名 プラズマ生成用陰極