アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 H01J27/08
出願年月日 1987
特許番号 US4749912 (A)
特許出願人 RIKAGAKU KENKYUSHO [JP]; TOKYO ELECTRON LTD [JP]
発明者 HARA TAMIO [JP]; HAMAGAKI MANABU [JP]; AOYAGI YOSHINOBU [JP]; NAMBA SUSUMU [JP]; ISHII NOBUO [JP]; TAKAYAMA NAOKI [JP]; KAWAMURA KOHEI [JP]
特許名 Ion-producing apparatus