アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 62-301833
出願年月日 1987/11
公開番号 01-143328
特許出願人 13東京エレクトロン (株);11理化学研究所
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;難波 進;吉永 隆;荒木 陽一
特許名 ドライエツチング装置