アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 62-141165
出願年月日 1987/06
公開番号 63-304560
特許番号 1918961
特許出願人 11理化学研究所
発明者 加藤 茂樹;浜垣 学;原 民夫;青柳 克信;難波 進
特許名 スパツタ中性粒子質量分析装置