アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 KR19870004962
出願年月日 1987/05
特許番号 KR900003310 (B1)
特許出願人 RIKAGAKU KENKYUSHO [JP]; TOKYO ELECTRON LTD [JP]
発明者 HARA TAMIO [JP]; HAMAGAKI MANABU [JP]; AOYAGI YOSHINOBU [JP]; NAMBA SUSUMU [JP]; ISHII NOBUO [JP]; TAKAYAMA MAOKI [JP]
特許名 ION PRODUCING APPARATUS