アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 62-21304
出願年月日 1987/01
公開番号 63-190300
特許番号 2526228
特許出願人 13東京エレクトロン (株);11理化学研究所
発明者 石井 信雄;高山 直樹;川村 剛平;原 民夫;浜垣 学;難波 進;青柳 克信
特許名 電子ビ-ム式プラズマ装置