アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 61-283924
出願年月日 1986/11
公開番号 63-138634
特許番号 1923817
特許出願人 11理化学研究所
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;難波 進
特許名 電子ビ-ム励起イオン照射装置