アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 H01J27/02; H01J27/20; H01J37/08
出願年月日 1986/08
特許番号 US4749910 (A)
特許出願人 RIKAGAKU KENKYUSHO [JP]
発明者 HARA TAMIO [JP]; HAMAGAKI MANABU [JP]; AOYAGI YOSHINOBU [JP]; NAMBA SUSUMU [JP]
特許名 Electron beam-excited ion beam source