アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 61-78463
出願年月日 1986/04
公開番号 62-234857
特許番号 1998516
特許出願人 11理化学研究所;13東京エレクトロン (株)
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;難波 進;今橋 一成
特許名 電子ビ-ム源