アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 58-136262
出願年月日 1983/07
公開番号 60-28240
特許出願人 11理化学研究所
発明者 瀬川 勇三郎;青柳 克信;難波 進
特許名 半導体の電気的特性を測定する装置