ハラフジ ケンジ
服藤 憲司
HARAFUJI Kenji
所属 理工学部 電気電子工学科
職名 教授
研究期間 2007/04 ~ 2009/03
研究課題 GaN結晶ドライエッチングの分子動力学シミュレーション
実施形態 科学研究費助成事業
研究種目名 基盤研究(C)
科研費研究課題番号 19540527
代表分担区分 研究代表者