ヒライ タケシ
平井 豪
HIRAI Takeshi
所属 理工学部 物理科学科
職名 講師
言語種別 英語
発行・発表の年月 2009
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Electrochemical Grooving of Si Wafers Using Catalytic Wire Electrodes in HF Solution
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of The Electrochemical Society
巻・号・頁 156,H134–H137
著者・共著者 Chia-Lung Lee, Yuji Kanda, Takeshi Hirai, Shigeru Ikeda, and Michio Matsumura