タキザワ マサル
滝沢 優
TAKIZAWA MASARU
所属 理工学部 物理科学科
職名 教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2019/12
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 光触媒を用いた紫外線励起研磨-4H-SiCの研磨面粗さの微小化と酸化物除去の追究-
執筆形態 共著
掲載誌名 砥粒加工学会誌
巻・号・頁 63,630-637
著者・共著者 田中 武司, 滝沢 優, 畑 彰宏