タキザワ マサル
滝沢 優
TAKIZAWA MASARU
所属 理工学部 物理科学科
職名 教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2019/05
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 光触媒とCathilonを用いた紫外線励起研磨―4H-SiCウェハーへの研磨適用性の追究と化学状態のXAFS分析―
執筆形態 共著
掲載誌名 精密工学会誌
巻・号・頁 85,432-439
著者・共著者 田中 武司, 滝沢 優, 畑 彰宏