タキザワ マサル
滝沢 優
TAKIZAWA MASARU
所属 理工学部 物理科学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2018/06
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Chemical State Modification of 4H-SiC by Ultraviolet-Ray Aided Machining
執筆形態 共著
掲載誌名 e-J. Surf. Sci. Nanotech.
巻・号・頁 16,283-285
著者・共著者 Masaru Takizawa, Akihiro Hata, Kei Mitsuhara, and Takeshi Tanaka