タキザワ マサル
滝沢 優
TAKIZAWA MASARU
所属 理工学部 物理科学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2018/03
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Verification of the Effectiveness of UV-Polishing for 4H-SiC Wafer Using Photocatalyst and Cathilon
執筆形態 共著
掲載誌名 Int. J. of Automation Technology
巻・号・頁 12,160-169
著者・共著者 Takeshi Tanaka, Masaru Takizawa, and Akihiro Hata