アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 日本語
研究概要 MEMSを用いた計測技術の開発,およびマイクロ・ナノ材料の特性評価・破壊メカニズムの解明

MEMES・マイクロマシンを利用したマイクロ・ナノスケールにおける諸物理量の計測技術を開発し,新しいマイクロ・ナノデバイスの創製に向けた基盤技術の構築を目指す.
また,MEMSの高機能化・高性能化,あるいは実用化に向けたデバイスの信頼性保証のためには,用いられる材料の性質を十分に把握していなければならない.そこで,MEMS材料に用いられるマイクロ・ナノスケールの構造材料の特性評価を実施し,微小化に伴い顕在化する諸物性のメカニズムを解明する.