アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2000/05
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Tensile testing of SiO2 and Si3N4 films carried out on
a silicon chip
執筆形態 共著
掲載誌名 Sensors and Actuators A: Physical
巻・号・頁 82,291-296
著者・共著者 T. Yoshioka, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato