アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1999/02
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 オンチップ引張試験によるシリコン薄膜の応力とひずみの測定
執筆形態 共著
掲載誌名 電気学会論文誌E
掲載区分 国内
巻・号・頁 119(2),67-72
著者・共著者 安藤妙子, 吉岡テツヲ, 式田光宏, 佐藤一雄, 川端達央