アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2008
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Effect of temperature on fracture toughness in a single-crystal-silicon film and transition in its fracture mode
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Micromechanics and Microengineering
巻・号・頁 18(1),015026
著者・共著者 S. Nakao, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato