アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2005
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Microelectromechanical Systems
巻・号・頁 14(5),1178-1186
著者・共著者 T. Tsuchiya, M. Hirata, N. Chiba, R. Udo, Y. Yoshitomi, T. Ando, K. Sato, K. Takashima, Y. Higo, Y. Saotome, H. Ogawa, and K. Ozaki