アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2005
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Measurement for fracture toughness of single crystal silicon film with tensile test
執筆形態 共著
掲載誌名 Sensors and Actuators A: Physical
巻・号・頁 119(1),229-235
著者・共著者 X. Li, T. Kasai, S. Nakao, H. Tanaka, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato