アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2004
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching
執筆形態 共著
掲載誌名 Sensors and Actuators A: Physical
巻・号・頁 116(2),264-271
著者・共著者 M. Shikida, M. Odagaki, N. Todoroki, M. Ando, Y. Ishihara, T. Ando, and K. Sato