アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2001
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Tensile-mode fatigue testing of silicon films as structural materials for MEMS
執筆形態 共著
掲載誌名 Sensors and Actuators A: Physical
巻・号・頁 93(1),70-75
著者・共著者 T. Ando, M. Shikida, K. Sato