アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2016/02
形態種別 研究論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 Effect of Temperature and Humidity on Degradation of Single-Crystal Silicon Microbeam in MEMS Resonator
執筆形態 共著
掲載誌名 Sensors and Materials
掲載区分 国外
巻・号・頁 28(2),113-120
総ページ数
著者・共著者 Taeko Ando, Mitsuhiro Shikida, and Kazuo Sato
DOI 10.18494/SAM.2016.1161
ISSNコード 0914-4935
researchmap用URL https://doi.org/10.18494/SAM.2016.1257