アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2011/01
発表テーマ Fracture Toughness of Si Thin Film at Very Low Temperatures by Tensile Test
会議名 The 24th IEEE Int. Conf. on Microelectromech. Syst., MEMS 2011
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 T. Ando, T. Takumi, and Kazuo Sato