アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2010/06
発表テーマ 低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動
会議名 電気学会研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 安藤妙子, 侘美貴文, 佐藤一雄