アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2009/01
発表テーマ Degradation of mechanical strength at Si/SiO2 interface on SOI wafers under cyclic loading
会議名 21th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
主催者 IEEE
開催地名 Sorento
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 T. Ando, T. Takumi, and Kazuo Sato