アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2008
発表テーマ Mechanical characterization of SiC film at high temperatures by tensile test
会議名 The 21st IEEE Int. Conf. on Microelectromech. Syst., MEMS 2009
開催地名 Arizona
学会区分 国際学会
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 S. Nakao, T. Ando, L. Chen, M. Mehregany and K. Sato