アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2005
発表テーマ Temperature-dependent Fracture Toughness of Single-crystal-silicon Film
会議名 The 13th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
開催地名 Seoul
学会区分 国際学会
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 S. Nakao, T. Ando, M. Shikida and K. Sato