アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2004/01
発表テーマ Effect of crystal orientation on fracture strength and fracture toughness of single-crystal silicon
会議名 17th International conference on Micro Electro Mechanical Systems
主催者 IEEE
開催地名 Kyoto
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 T. Ando, X. Li, S. Nakao, T. Kasai, M. Shikida, and K. Sato