アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2001/11
発表テーマ Mechanical properties of 0.1 micron thick SIMOX film measured using on-chip tensile test system
会議名 MRS symposium
主催者 MRS
開催地名 Boston
学会区分 国際学会
発表形式 シンポジウム・ワークショップ パネル(公募)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 J. Amano, T. Ando, M. Shikida, K. Sato, and T. Tsuchiya