アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 1999/03/31
発表テーマ Fatigue test of thin film materials on a silicon chip using resonating loading system
会議名 Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS
主催者 SPIE
開催地名 Paris
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 T. Ando, T. Yoshioka, M. Shikida, and K. Sato