アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2018/11/11
発表テーマ シリコンのPECエッチングによる高アスペクト比ナノスケール微細孔の作製
会議名 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
主催者 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
開催地名 札幌市民交流プラザ
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 安藤 妙子,東野 純也,田村 宜通