アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2017/10/31
発表テーマ 不純物濃度によるエッチング速度の違いを利用したシリコン 3 次元 構造体の製作
会議名 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
主催者 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
開催地名 広島国際会議場
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 田村 宣通,安藤 妙子