アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2014/11/06
発表テーマ Fabrication of MEMS Chamber for SEM Observation Under Controlled Temperature Condition
会議名 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014)
主催者 The Japan Society of Applied Physics
開催地名 Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan
学会区分 国際学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 K. Tani and T. Ando