アンドウ タエコ
安藤 妙子
ANDO Taeko
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2013/03/21
発表テーマ シリコンのTMAHエッチングによる45°マイクロミラーの作製と評価
会議名 平成25年電気学会全国大会
主催者 電気学会
開催地名 名古屋
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 小出靖征, 寺本大介, 小西 聡, 安藤妙子