チャンタナ ジャカパン
CHANTANA JAKAPAN
CHANTANA JAKAPAN
所属 総合科学技術研究機構
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2010/03
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Gas temperature control in VHF-PECVD process for high-rate (>5 nm/s) growth of microcrystalline silicon thin films
執筆形態 共著
掲載誌名 Physica Status Solidi C
巻・号・頁 7,521-524
著者・共著者 Yasushi Sobajima*, Takuya Higuchi, Jakapan Chantana, Toshihiko Toyama, Chitose Sada, Akihisa Matsuda, and Hiroaki Okamoto
DOI 10.1002/pssc.200982711