モウリ シンイチロウ
毛利 真一郎
MOURI SHINICHIRO
所属 理工学部 電気電子工学科
職名 准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2020/08/15
形態種別 研究論文(学術雑誌)
標題 Correlation Between Crystal Warpage and Swelling of 4H-SiC Through Implantation and Annealing
執筆形態 共著
掲載誌名 Semiconductor Science and Technology
掲載区分 国外
巻・号・頁 35,1050008/1-1050008/7
著者・共著者 K. Ishiji, K. Sato, T. Fujii, T. Araki, S. Mouri and R. Sugie