ヤマネ ダイスケ
山根 大輔
YAMANE DAISUKE
所属 理工学部 機械工学科
職名 准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/03
形態種別 学術書
標題 8. Multi-Physics Simulation Platform and Multi-Layer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer with Gold Proof Mass" in Masato Sone and Kazuya Masu (Eds.) :Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device
執筆形態 共著
出版社・発行元 IntechOpen
著者・共著者 Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Hiroyuki Ito