ヤマネ ダイスケ
山根 大輔
YAMANE DAISUKE
所属 理工学部 機械工学科
職名 准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/01
形態種別 学術書
標題 Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors"
Advances in Microelectronics Reviews, Vol. 2
執筆形態 共著
出版社・発行元 IFSA Publishing, S. L.
巻・号・頁 23-48
著者・共著者 Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yota Ishizuka, Minami Teranishi, Takuma Suzuki, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone