ヤマネ ダイスケ
山根 大輔
YAMANE DAISUKE
所属 理工学部 機械工学科
職名 准教授
発表年月日 2020/06
発表テーマ A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped Electrodes
会議名 Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2020)
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu