コニシ サトシ
小西 聡
KONISHI Satoshi
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1998
形態種別 論文(その他)
標題 Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline
執筆形態 共著
掲載誌名 Microsystem Technologies
巻・号・頁 Vol.4, No.2, pp.61-63
著者・共著者 S. Sugiyama, Y. Zhang, M. Hosaka, H. Ueno, O.Tabata, R. Maeda