コニシ サトシ
小西 聡
KONISHI Satoshi
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2005
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Investigation of Pyrolyzed Polyimide Thin Film as MEMS Material
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Semiconductor Technology and Science
巻・号・頁 Vol. 5(No. 1),38-43
著者・共著者 K. Naka, H. Nagae, M. Ichiyanagi, Ok Chan Jeong, and S. Konishi