コニシ サトシ
小西 聡
KONISHI Satoshi
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2015/02
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Lift-off process with bi-layer photoresist patterns for conformal-coated superhydrophilic pulsed plasma chemical vapor deposition-SiOx on SiCx for lab-on-a-chip applications
執筆形態 共著
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
巻・号・頁 54(4),047201
著者・共著者 S. Konishi, C. Nakagami, T. Kobayashi, W. Tonomura, Y. Kaizuma
DOI 10.7567/JJAP.54.047201