コニシ サトシ
小西 聡
KONISHI Satoshi
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
発表年月日 2011/06/07
発表テーマ TRANSFER TECHNOLOGY OF PYROLYZED POLYMER ONTO LOW THERMAL TOLERANCESUBSTRATE
会議名 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’11)
開催地名 Chaina, Beijing
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 T. Kobayashi, A. Akazawa, Y. Furuno, W. Tonomura and S. Konishi