コニシ サトシ
小西 聡
KONISHI Satoshi
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
取得国 国内
出願番号 2000-174624
出願年月日 2000/06
公開番号 2001-358206
特許出願人 学校法人立命館,東レエンジニアリング株式会社
発明者 小西 聡
特許名 基板の冷却方法およびその装置