トリヤマ トシユキ
鳥山 寿之
TORIYAMA Toshiyuki
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2010
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Measurement of mechanical and thermal properties of co-sputtered WSi thin film for MEMS applications
執筆形態 その他
掲載誌名 Microsystem Technologies
巻・号・頁 16,1881-1886
著者・共著者 B.T.Tung, D.V. Dao, T.Toriyama , S.Sugiyama