トリヤマ トシユキ
鳥山 寿之
TORIYAMA Toshiyuki
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2004
形態種別 論文(その他)
標題 Piezoresistance consideration on n-type 6H SiC for MEMS based piezoresistance sensors
執筆形態 単著
掲載誌名 Journal of Micromechanics and Microengineering
巻・号・頁 Vol.14,1445-1448
著者・共著者 T.Toriyama